제목 MEMS chip용 FIB 샘플 홀더 특허 등록 작성자 관리자
작성일 2018-08-22 조회수 54
나모텍에서는 In-situ TEM 홀더에 사용하는 MEMS chip에 FIB로 만든 TEM 샘플을 부착하는데 필요한 샘플 홀더와 In-situ TEM sample 제작기술을 특허 등록하게 되어, 고객의 다양한 수요에 더욱 원할히 대응할 수 있게 되었습니다.

특허번호 제 10-1881799호
등록일 2018년 7월 19일
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